1 可進行圓度、波紋度、同心度、垂直度、平行度、及平面度測量（可用四種方法評定原度誤差）。
2 可對零件表面狀態進行頻譜分析。
3 能夠給出零件的偏心及相位。
5 可處理出任意波段的波紋度值。

1 主軸精度：±0.018um
2 測量范圍：最大外徑Φ140mm(可定做≥Φ200mm Φ250mm Φ300mm）
最小內徑：Φ3mm
最大測量高度：200mm
最大被測件重量：10Kg
3 系統精度：0.045um
4 量程范圍： ≤30um
5 電源：交流單相220V 50Hz 250W
6 氣源壓力：≥0.5Mpa